走査型電子顕微鏡(SEM)や原子間力顕微鏡(AFM)の微動アクチュエータに圧電セラミックスが動力源として使用されます。
超音波エコーによる画像診断、輸液・透析装置のチューブ内気泡検知などに超音波の発振・受信源として圧電セラミックスが使用されています。
電子化の先駆でもある自動車分野では、エンジンコントロールセンサや近接障害物検知の超音波センサに圧電セラミックスが使用されています。また、加速度センサ、AE センサ、フォースセンサなど、富士セラミックスの圧電センサ群が開発やフィールド試験に活躍します。
タイタニック号沈没事件がきっかけといわれる海洋通信の開発は、水中の超音波探知機を生み魚群探知機を生み出していますが、圧電セラミックスによって超音波の発振・受信がなされています。
広範な産業機器分野ですが、各種精密洗浄に超音波洗浄機、自動装置の小物部品供給にパーツフィーダー、プラスチックなどの超音波溶着機、大判印刷など工業用インクジェットプリンター等々、超音波発振、振動やアクチュエータ機能が圧電セラミックスから引き出されています。
半導体の分野では、極細線による集積回路の微細配線を高速ボンディングするワイヤーボンダー、シリコーンウエハ加工時の純水流量コントロール、超音波流量計など、アクチュエータや超音波発振・受信に圧電セラミックスが機能しています。
視覚障害の方が利用される点字ディスプレーのピンを上げ下げするアクチュエータに圧電セラミックスが使用されています。
カメラのオートフォーカスや光学レンズに付着するダスト落とし、超音波方式のPCタッチパネル、スキャナーの紙重送を検知する超音波センサ、お肌ケアの超音波美容器、等々、圧電セラミックスによる振動、アクチュエータ、超音波の機能が使われています。
その他、セキュリティや油田&地質探査計測、等々の分野に圧電セラミックスによる超音波を利用した各種センサが使われています。
富士セラミックスの加速度センサは圧電効果を利用して加速度を計測する圧電型加速度センサです。圧電型加速度センサは他方式のセンサと比較して高感度・小型、広帯域、測定範囲が広い、機械的強度が高い等の特徴があります。
AEセンサは人間の五感では捉えることのできない製品や構造物などの悲鳴をキャッチします。製品の検査・試験、大型構造物の安全監視まで多くの分野で使用されています。富士セラミックスには国内唯一の絶対感度校正法による校正システムがあります。
富士セラミックスのフォースセンサは水晶の圧電効果を利用した動荷重センサです。プレス荷重モニター、端子圧着力監視、ボルト締付け軸力測定など、微小荷重から大荷重までの動的及び準静的な力を測定することができます。
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